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无尘净化工程的分类介绍

2021-09-28 09:00:57

无尘净化工程就是为了控制产品(例如硅晶片等)与空气接触的空气洁净度和温湿度,使得产品能够在良好的环境空间内生产。这个空间的设计施工过程可称为净化工程。无尘净化工程可分为乱流式和层流式。

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1.乱流式。

空气通过空调箱经风道送至洁净室内的空气过滤器,通过洁净室的两侧壁板或高楼层的回风。风向不是直线运动的,表现为不规则的乱流或旋涡状态。该型号适合1000-100,000级洁净室等级使用。

优势:结构简单.系统建设成本低,扩大洁净室相对容易,在一些特殊用途场所,可同时使用无尘工作台,提高了洁净室等级。

缺陷:因乱流而产生的微尘颗粒在室内空间内不容易排出,容易污染制程产品。此外,如果系统停止运转后再启动,欲达到需求的清洁度,往往要花费相当长的时间。


2.层流式。

多层气流均匀地流动,空气由覆盖率满满的滤清器进入室内,由上层地面或两边的隔墙板进行回风。本系列适用于洁净室需要定较高等级的环境使用,一般其洁净室等级为Class1~100。其类型可以分为两类:

(1)水平层流式:水平空气自滤器的单方向吹出,通过对边墙的回风系统回风,尘埃随着风向排放到室外,一般在下流侧污染比较严重。

优势:结构简单,运行一小段时间就能转化为稳定。

缺陷:成本较乱,内部空间不大,不利于扩展。


(2)垂直分层型:房间顶棚完全覆盖ULPA过滤器,空气从上向下吹去,可以达到更高的洁净度,在加工过程中或员工所产生的灰尘可以迅速排放到室外,不会影响到其他工作区域。

优势:管理方便,运行启动时间短,就能达到稳定状态,不容易对操作状态和操作人员产生影响。

缺陷:构造费用较高,弹性使用空间很难,天花板吊架占有相当大的空间,维修滤芯更换比较麻烦。复合物:复合式是将乱流和层流混合或同时使用,可以提供局部的超洁净空气。



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