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怎么控制无尘车间的污染

2021-09-14 02:50:18

无尘车间的温度和湿度主要根据工艺要求确定,但在满足工艺要求时,应考虑人的舒适性,随着空气洁净度要求的提高,对温度和湿度的要求也越来越严格,随后将列举净化工程具体工艺的温度要求,但作为一般原则,随着加工精度的提高,对温度波动范围的要求也越来越小。


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  在用于大规模集成电路生产的平版印刷曝光工艺中,玻璃和硅片作为掩模材料的热膨胀系数的差异需要越来越小,直径100微米、温升1度的硅片会引起0.24微米的线性膨胀,因此它必须具有±0.1度的恒温,湿度值一般较低,因为人出汗后,产品会受到污染。


  车间的温度不应超过25度,湿度过高会造成更多的问题,当相对湿度超过55%时,冷却水管壁会形成结露,如果发生在精密设备或电路中,会引起各种事故,相对湿度为50%时容易生锈,另外,当湿度过高时,附着在硅片表面的灰尘被空气中的水分子化学吸附在表面上,难以去除,相对湿度越高,越难去除,但当相对湿度低于30%时,由于静电力,颗粒也容易吸附到表面,大量半导体器件容易击穿,晶圆生产的温度范围为35-45%。


无尘车间有哪些要求规范


  无尘车间内对净化起到主导作用的就是净化空调系统,但净化室内的结构也是很重要的,根据建设部颁布的GB50333-2002《医院洁净手术部建筑技术规范》和GB50073-2001《洁净厂房设计规范》的要求,建筑装饰不能产生灰尘、不得积尘、耐腐蚀、防潮防霉并且容易清洁,符合防火要求,墙面也要求不易开裂且做到阻燃的材料。


  根据车间内产品制作的要求来选择对应的无尘等级,因为这方面的等级划分也比较严格,如果要求高建议选择等级合适的,不然会不符合要求影响到产品的生产。


芜湖慧尔净化设备有限公司拥有一支从事环保工程设计制造、洁净厂房等厂房净化产品开发研制,施工安装的高素质工程技术队伍和一个配套无尘净化工程设备生产工厂。如果您有相关业务需要,欢迎来电咨询。希望我们的合作能从此刻开始!


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