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怎么控制无尘车间的污染

发布日期:2019-08-09

  怎么控制无尘车间的污染

  无尘车间的温度和湿度主要根据工艺要求确定,但在满足工艺要求时,应考虑人的舒适性,随着空气洁净度要求的提高,对温度和湿度的要求也越来越严格,随后将列举净化工程具体工艺的温度要求,但作为一般原则,随着加工精度的提高,对温度波动范围的要求也越来越小。

怎么控制无尘车间的污染

  在用于大规模集成电路生产的平版印刷曝光工艺中,玻璃和硅片作为掩模材料的热膨胀系数的差异需要越来越小,直径100微米、温升1度的硅片会引起0.24微米的线性膨胀,因此它必须具有±0.1度的恒温,湿度值一般较低,因为人出汗后,产品会受到污染。

  车间的温度不应超过25度,湿度过高会造成更多的问题,当相对湿度超过55%时,冷却水管壁会形成结露,如果发生在精密设备或电路中,会引起各种事故,相对湿度为50%时容易生锈,另外,当湿度过高时,附着在硅片表面的灰尘被空气中的水分子化学吸附在表面上,难以去除,相对湿度越高,越难去除,但当相对湿度低于30%时,由于静电力,颗粒也容易吸附到表面,大量半导体器件容易击穿,晶圆生产的温度范围为35-45%。

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